何茂栋长期致力于集成电路领域高端装备的设计开发及国产化应用
何茂栋现任北京京仪自动化装备技术股份有限公司产品部技术总监,也是中国自动化学会会员,中国制冷学会高级会员,北京经济技术开发区产业园区服务管理智库专家,北京市劳动模范协会理事,北京市科技专家库专家。
何茂栋不忘初心、牢记使命,成为集成电路行业科技创新领军人才。发表论文7篇,获授权发明专利25项,实用新型32项,软件著作权20项;10个型号的集成电路专用温控设备获北京市新技术新产品认定;“何茂栋创新工作室”分别获北京经济技术开发区总工会、北京市总工会授牌;他获得全国五一劳动奖章、“亦麒麟”科技创新领军人才、北京市劳动模范、杰出自动化工程师、北京优秀青年工程师、北京市百姓宣讲优秀宣讲员等荣誉称号,获得北京市职工文化协会三等奖、北京市企业管理现代化创新成果奖二等奖、北京市科学技术奖三等奖2次、中国机械工业科学技术奖三等奖2次。
何茂栋有强烈的社会责任感及广泛的群众基础,时刻发挥着共产党员的先锋模范作用。在工作中他严格要求自己,在不断加强自身素养的同时,做好各项工作,全心全意为公司服务、为员工服务。面对困难,积极向上,勇于担当,吃苦在前享乐在后,争当先锋表率,成为了一名优秀共产党员,多次荣获京仪集团、北控集团“青年岗位能手”“优秀职工”“劳动竞赛先进个人”“先进工作者”“优秀共产党员”等荣誉称号。
从2002年8月大学毕业以来,何茂栋扎根研发第一线,致力于集成电路制造领域高端装备的设计开发及国产化推广应用,先后参与国家863项目“VB法大直径砷化镓单晶炉和退火炉研制”、国家科技重大专项的子项目“磷化铟CZ-50型高压单晶炉研制”、北京市发改委重点项目“多晶铸锭生长与加工设备研发及产业化”、北京市科委“多通道低温温控设备设计开发”等多个重点项目的研究开发。
2002年至2013年,何茂栋从事半导体晶体生长设备的设计开发。其中,开发的砷化镓晶体生长设备项目属于国家863项目,磷化铟晶体生长设备属于国家科技重大专项的子项目;开发硅、锗晶体生长设备,开发出全自动单晶硅炉控制系统,实现晶体生长的一键式全自动控制,全自动系列单晶炉累计销售量达到1500台,为企业创造了12亿元的销售收入,实现了晶体生长设备的国产化。
2014年,何茂栋加入集成电路专用温控设备项目组,带领技术团队攻坚克难,经过不懈努力开发出了多通道、高精度、宽温度、大负载的集成电路专用温控设备共计20多种型号。所开发的温控设备,采用先进的预测控制、模糊PID控制、自适应控制算法对温度进行精密控制,温控精度优于国际同类产品,温控设备的成功开发打破国外厂家的技术垄断,填补了国内空白,经过科技成果评价,技术达到国际先进水平,解决了集成电路制造领域专用温控设备长期被国外垄断及“卡脖子”的问题。
集成电路专用温控设备完全满足国内外主流的半导体刻蚀工艺设备的要求,并销往国内主流的集成电路制造厂,产品在集成电路制造领域得到批量应用,国内市场占有率超过50%,累计销售超过5000台,为企业创造销售收入超过10亿元,成功实现了国外进口高端温控设备的国产化替代,促进了“中国芯”的健康良性发展,为国民经济稳步向好向优提供了有力的保障。
何茂栋始终怀揣“制造强国”的初心梦,为早日实现集成电路领域高端装备的国产化,工作之余刻苦努力、勤奋好学,先后到北京航空航天大学、天津大学进行硕士、博士深造,提升理论水平,极大地提升工作业务能力。
心中有方向,手中有方法,脚下有力量,所开发的集成电路专用温控设备国内市场占有率超过50%,面对成绩何茂栋不骄傲,在研发集成电路领域高端装备助力“中国芯”的道路上开拓创新、砥砺前行,创新步伐将继续迈进、永不停歇。
(市国资委宣传工作处/供稿、供图)
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